带你了解成都DLC涂层的主要性能：

1.机械性能

a、 硬度和弹性模量。不同沉积方法制备的类金刚石薄膜的硬度和弹性模量差别很大。磁过滤阴极弧法可以制备出硬度高达甚至高于金刚石的类金刚石薄膜。阴极弧法制备的DLC涂层的..硬度可达50gpa以上，而离子源结合非平衡磁控溅射法制备的DLC涂层的..硬度可达21gpa。膜中的成分对膜的硬度有一定的影响。硅和氮的加入可以提高类金刚石薄膜的硬度。类金刚石薄膜具有较高的弹性模量，低于金刚石（110GPa），但明显高于普通金属和陶瓷。

b、 内应力和粘结强度。薄膜的内应力和结合强度是决定薄膜稳定性和使用寿命并影响薄膜性能的两个重要因素。类金刚石薄膜内应力高，结合强度低，在使用过程中容易开裂、折叠甚至脱落。因此，制备的类金刚石薄膜..具有中等的压缩应力和较高的结合强度。大多数研究表明，直接沉积在衬底上的类金刚石膜的膜/衬底结合强度普遍较低。采用Ti\tin\TiCN\tic中间梯度过渡层提高了类金刚石薄膜与衬底的结合强度。在模具钢上沉积的类金刚石薄膜的结合强度为44n-74n，薄膜导体的总厚度可达5um。‍

2.摩擦性能

类金刚石薄膜不仅具有优异的耐磨性，而且具有非常低的摩擦系数，一般低于0.2。它是一种优良的表面抗磨改性膜。DLC涂层的摩擦系数随制备工艺和薄膜成分的不同而变化，..摩擦系数为0.005。掺杂金属元素可以降低摩擦系数，但添加h可以改善润滑效果，环境对摩擦系数也有一定影响。然而，一般来说，类金刚石薄膜在摩擦系数方面比传统硬质薄膜（如tin、tic、TiAlN等）有明显的优势，这些传统硬质薄膜的摩擦系数大于0.4。因此，类金刚石膜在许多摩擦学领域可能取代传统的硬脑膜。制备的金属掺杂类金刚石薄膜具有良好的摩擦磨损性能，摩擦系数低至0.13-0.15。

3.热稳定性

由于类金刚石薄膜是一种亚稳材料，热稳定性差是限制类金刚石薄膜应用的重要因素。当退火温度高于300℃时，SP3键向SP2键转变。因此，人们做了大量的工作来提高其热稳定性。研究发现，硅的加入可以显著提高类金刚石薄膜的热稳定性。当硅含量为20at%的类金刚石薄膜在740℃退火时，会发生从SP3键到SP2键的转变。同样，添加金属（如Ti、W、Cr）也可以提高类金刚石薄膜的热稳定性。

4.耐腐蚀性

纯类金刚石膜具有优良的耐蚀性，不易被各种酸、碱甚至王水腐蚀。然而，掺杂其他元素的DLC薄膜的耐蚀性降低，这是由于掺杂元素的..次腐蚀破坏了薄膜的连续性。

5.表面状态

DLC涂层表面一般光滑，对衬底表面光洁度影响不大，但随着薄膜厚度的增加，表面光洁度会降低。不同沉积方法得到的类金刚石薄膜的表面光洁度也不同。离子源技术沉积的类金刚石薄膜表面质量明显优于电弧离子镀。

类金刚石薄膜具有良好的粘附性，特别是对有色金属（如铜、铝、锌等）、塑料、橡胶、陶瓷等具有良好的粘附性。‍