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DLC涂层技术

发布时间: 2022-01-07 作者:admin 分享到:
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薄膜涂层技术---DLC涂层的基本原理
“DLC”是英文“DIAMOND-LIKE CARBON”一词的缩写。即类金刚石涂层。即介于下图金刚石和石墨之间的结构,是一种由碳元素构成、在性质上和钻石类似,同时又具有石墨原子组成结构的物质。类金刚石薄膜(DLC)是一种非晶态薄膜,由于具有高硬度和高弹性模量,低摩擦因数,耐磨损以及良好的真空摩擦学特性,很适合于作为耐磨涂层。

薄膜涂层技术---DLC涂层的基本结构

DLC涂层的实现是在200°C左右 的温度状态下,通过辉光放电等离子体、喷溅涂层预处理以及阴极电弧沉积方法,表面经真空蒸发离子束辅助镀膜处理后形成了光滑、致密的多层纳米DLC薄膜结构,如上图所示。如果将其他元素嵌入 DLC 涂层的碳氢化合物网状结构,DLC涂层的性能随着膜中成分的变化而变化,其摩擦系数..可达0.005 。总之,DLC涂层具有很多优良的特性:极高的硬度;极低的摩擦系数;极好的膜层致密性和良好的化学稳定性